Products
MEMS Item
마이크로투나노는 MEMS(미세전자기계시스템) 기술을 기반으로, 
바이오, 센서 등으로 응용 가능한 정밀 부품 제조 역량을 확보하고 있습니다.
  • 마이크로니들 Microneedle
  • 압력센서 Pressure Sensor
  • V Groove
  • Foundry Service

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​마이크로니들 (Microneedle)



고순도 실리콘 기반
  • 생체적합성이 뛰어난 고순도 실리콘 결정으로 제작
  • MEMS기술을 활용하여 미세하고 정밀한 구조 구현

정밀한 피라미드형 구조
  • 정교한 피라미드형 마이크로 구조로 피부 관통력 향상
  • 구조의 안정성과 강도를 동시에 확보
인체 내 안정성 검증
  • 인체 적용에 적합하도록 설계된 재료와 구조
  • 무통증 혹은 저통증 주사 가능, 환자 순응도 향상
다양한 적용 가능 분야
  • 백신, 미용, 약물전달 등 폭넓은 의료 및 바이오 응용 가능
  • 정량적이고 정확한 약물 전달 실현




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​압력센서 (Pressure Sensor)

이 센서는 제동 압력을 정밀하게 감지하여,
 ESC(전자 제어 주행 안정 장치), ABS(잠김 방지 제동 장치), TCS(구동력 제어 장치) 등의 
안정성 시스템이 신속하고 정확하게 작동할 수 있도록 지원합니다.

  • ◽고정밀도 및 장기 신뢰성
  • ◽소형화된 패키지
  • ◽혹독한 차량 환경에 최적화




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V-Groove

광통신에서 정밀한 광섬유 정렬을 위해 사용됩니다.


실리콘 결정 구조를 활용한 제품으로,
정밀한 코어 피치(Core Pitch)를 구현하였습니다.

실리콘 습식 식각(Wet Etching) 공정을 이용한
대량 생산이 가능합니다.

1채널부터 다채널까지 고객의 요구에 따라
맞춤 제작이 가능합니다.

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​◽높은 위치 정밀도
◽다양한 채널 구정 (1~128채널)
(1, 2, 4, 8, 16, 32, 48, 64, 128)
◽250㎛ 및 127㎛ 피치 지원
◽맞춤형 설계 가능
​


Foundry Service


마이크로투나노는 MEMS 및 나노 공정 서비스에서 2001년 이후의 풍부한 경험과 노하우를 바탕으로 고객의 요구에 맞는 공정 개발 및 제조를 도와드리며, 이를 바탕으로 시제품의 제작 및 양산을 진행합니다. 제조설비에 대해 다양한 인프라가 구축되어 있으며, ISO 9001: 2015, IATF 16949 등 세계 품질경영 표준을 준수, 신뢰할 수 있는   Foundry Service를 제공합니다.




Our Production Infrastructure
  Clean Room (~500m^3,  class 100~1000) - One stop MEMS fabrication  process (6 inch wafer)



Photolithography
Etching
Deposition
Measuring
 Aligner (backside) / Track / Spin coater
 Deep Si Etcher / RIE / ICP Metal Etcher / Asher / Wet Station / KOH Bath / Dicing Saw
 PECVD / LPCVD / Oxidation Furnace / Sputter
 Microscope (CD) / Nano Spec. / Probe Station / Surface Profiler / Three dimension coordinate  measuring machine  

   Deep Si Etching Technique

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Comb (SOI Wafer)
(less notching)
High aspect ratio structure
2step trench
Through hole


   Micro & Nano Structure using Dry & Wet Silicon Etch /3D Electrode Patterning

Foundry_Micro_Nano_Structure_using_Dry_Wet_Silicon_Etch.pngFoundry_3D_Electrode_Patterning.png
Silicon AFM Probe
Au layer


제품에 대해 궁금하신 사항이 있는 경우, 문의를 주시면 빠른시일 내로 답변 드리겠습니다. 감사합니다.