Products
Probe Card
프로브카드는 반도체 웨이퍼 테스트 공정에서 칩의 전기적 특성을 검사하기 위한 핵심 장비입니다.  웨이퍼 상의 각 다이(die)에 테스트 신호를 전달하고 응답을 측정함으로써, 불량 칩을 조기에 선별하여 생산 효율을 극대화합니다. 마이크로투나노는 HBM, DRAM, NAND, Logic 등 다양한 반도체 제품군에 최적화된 고성능 프로브카드를 설계·제작하며, 미세화 및 고집적화되는 반도체 공정에 대응하기 위해 고속 신호 특성, 정밀도, 내구성 면에서 차별화된 기술력을 제공합니다.
  • NAND
  • DRAM
  • 기타
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NAND - Flash 테스트용 Probe Card

NAND

NAND Flash는 데이터를 전기적으로 저장하고 삭제할 수 있는 비휘발성 메모리로,
모바일 기기, SSD, 서버, 자동차 전장 등 다양한 분야에서 핵심 저장장치로 사용됩니다.

NAND의 대용량화 및 고속화에 따라, 웨이퍼 단계에서의 정밀한 전기적 테스트가 더욱 중요해지고 있으며,
마이크로투나노는 이러한 트렌드에 발맞춰 NAND 전용 고집적 Probe Card 솔루션을 제공합니다.

High-Density Multi-Pin 설계: 수천 채널 이상의 I/O를 정밀하게 대응
고속 신호 테스트 최적화: 최신 NAND 구조의 고주파 특성에 대응하는 설계
균일한 접촉력 구현: 테스트 신뢰성을 높이는 접촉 안정성 확보
고객 맞춤형 핀 배열 및 회로 구성: 다양한 테스트 환경에 최적화된 구조 설계

마이크로투나노는 NAND Flash의 수율 향상과 테스트 효율 극대화를 목표로
지속적인 기술개발과 최적화 설계를 통해 고객사의 품질 경쟁력을 지원하고 있습니다.


Description
Main PCB
Low Permittivity MLB
High density wiring MWB
Tip Length
≥150um
Tip Diameter
8~12um
Density
50,000 Pin
Needle Force
0.8gf/mil
Alignment ( X, Y )
Single±10um /Dual±12.5um
Planarity
±15um for 12” Wafer 1T/D
Scrub Mark
12um±4um@ 4mil
Min. Pad to Pad Pitch
55um
Min. Pad Size
55 X 50um
Test Temperature
-40~125℃
Life Time
500K
TEST Frequency
40Mhz
Max Shared
16 Shared
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DRAM 테스트용 Probe Card
ChatGPT_Image_2025년_6월_30일_오후_04_55_18.pngHBM 테스트용 Probe Card




DRAM

DRAM(Dynamic Random Access Memory)은 데이터를 빠르게 읽고 쓸 수 있는 휘발성 고속 메모리로,
모바일 기기, PC, 서버, 인공지능(AI), 자율주행 시스템 등 다양한 분야에서 
빠른 데이터 처리와 시스템 성능 향상에 필수적인 역할을 합니다.

고속 동작 조건 대응: DDR4/DDR5, HBM 등 최신 고주파 테스트 요구에 최적화된 설계
균일한 접촉력 및 정밀 정렬: Fine Pitch 구조에서도 접점 정합도 유지
반복 테스트 대응 내구성 강화: 소모품 수명 연장을 위한 내열·내마모 설계
커스터마이징 설계: 테스트 장비(ATE)와의 호환성을 고려한 고객 맞춤형 개발 가능

마이크로투나노는 DRAM 테스트의 정확도 향상과 수율 최적화를 지원하며,
제품 개발에서 양산까지 전 구간에 걸쳐 안정적 품질 솔루션을 제공합니다.


Description (DRAM)
Description (HBM)
Main PCB
High density wiring MWB
Low Permittivity MLB
High density wiring MWB
Tip Length
≥150um
≥200um
Tip Diameter
8~12um
8~12um
Density
150,000 Pin
60,000 Pin
Needle Force
0.8gf/mil
0.8gf/mil
Alignment ( X, Y )
Single±10um /Dual±12.5um
Single±10um
Planarity
±15um for 12” Wafer 1T/D
±15um for 12” Wafer 1T/D
Scrub Mark
12um±4um@ 4mil
12um±4um@ 4mil
Min. Pad to Pad Pitch
55um
165um
Min. Pad Size
55 X 50um
80 X 60um
Test Temperature
-40~125℃
-30~110℃
Life Time
500K
500K
TEST Frequency
200Mhz
200Mhz
Max Shared
18 Shared



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CIS.png
CIS 테스트용 Probe Card

CIS
우수한 전기적 특성 → 높은 신뢰성의 테스트 수행 가능
짧은 리드 타임과 저렴한 생산 비용 → 고객 맞춤형 대응 및 비용 효율성 확보


Description
Main PCB
Low Temperature Co-fired Ceramic
Tip Length
≥150um
Tip Diameter
8~12um
Density
4,000 Pin
Needle Force
0.8gf/mil
Alignment ( X, Y )
Dual±12.5um
Planarity
±15um for 12” Wafer 1T/D
Scrub Mark
12um±4um@ 4mil
Min. Pad to Pad Pitch
55um
Min. Pad Size
55 X 50um
Test Temperature
-30~125℃
Life Time
500K
TEST Frequency
2.5Ghz

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BIST 테스트용 Probe Card

BIST
우수한 전기적 특성 → 높은 신뢰성의 테스트 수행 가능
짧은 리드 타임과 저렴한 생산 비용 → 고객 맞춤형 대응 및 비용 효율성 확보


Description
Main PCB
Low Temperature Co-fired Ceramic
Tip Length
≥150um
Tip Diameter
8~12um
Density
30,000 Pin
Needle Force
0.8gf/mil
Alignment ( X, Y )
Dual±12.5um
Planarity
±15um for 12” Wafer 1T/D
Scrub Mark
12um±4um@ 4mil
Min. Pad to Pad Pitch
55um
Min. Pad Size
55 X 50um
Test Temperature
-40~125℃
Life Time
500K
TEST Frequency
100Mhz

품질 보증
▪ISO 9001 및 반도체 산업 표준 인증을 통한 품질 보증 시스템 운영으로 모든 제품의 신뢰성과 일관성을 보장합니다. 100% 출하 검사와 엄격한 성능 테스트를 통해 최고 품질의 제품만을 고객에게 제공합니다.

연구 개발
▪지속적인 R&D 투자를 통해 차세대 MEMS Probe 기술을 개발하고 있으며, 반도체 공정의 미세화와 고속화에 대응하는 첨단 솔루션을 연구하고 있습니다. 산학연 협력을 통한 혁신적 기술 개발에 주력하고 있습니다.
고객 맞춤 설계
▪고객의 특수한 요구사항에 맞는 맞춤형 Probe Card 설계 및 제조 능력을 보유하고 있으며, 신속한 설계 변경 및 프로토타입 제작을 통해 고객의 개발 주기를 단축시키는데 기여합니다.

기술적 역량
▪마이크로 ~ 나노 수준의 정밀 설계 기술
▪고집적 MEMS 구조 설계 및 제조
▪고내구성 소재 개발 및 적용
▪미세 접합 및 패키징 기술
▪전기적 특성 최적화 설계
생산 역량
▪클린룸 기반 고순도 제조 환경
▪자동화된 생산 라인
▪엄격한 품질 관리 시스템
▪대량 생산, 맞춤형 생산 병행
▪신속한 시제품 제작 및 검증
납품 및 서비스
▪정확한 납기 준수
​▪글로벌 물류 네트워크
​▪24시간 기술 지원
▪지속적인 성능 모니터링 및 유지보수